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                                服务支持
                                
      
                                
         
        
                                
                    
                                服务理念
                                
        
                                
        
        
                                
                    
                                常见问题
                                
        
                                
        
        
                                
                    
                                服务优势
                                
        
                                
             
                                
      
                                
      
    
                                        
                                
            
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                                光掩膜基本品质检验？
                                
                    
                                时间：2021-04-08 16:12:01 点击：次
                                
                    
                                光掩膜基本品质项目

                                1.  外观品质
                                （缺陷、异物、光学浓度不足、透射率不足、划伤、顶伤等）

                                2.  图形尺寸精度（CD精度）
                                （也称为短尺寸精度，包括绝对精度、CD均匀性、CD线形等）

                                3.  图形位置精度（Registration精度）
                                  ◆   图形总长精度（TP精度，也称为长尺寸精度）
                                  ◆   图形套合精度（Overlay精度）
                                  ◆   图形居中精度（Centrality精度）

                                
                    
                                  
                
                                
                 
                
                                
                   
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                                备案号：粤ICP备2021039024号
                                

                                
 


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